мікроскопічна теорія, микроскопическая теория ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics

Современные тенденции в производстве микроэлектронных приборов направлены на индивидуальную обработку в контролируемой газовой среде полупроводниковых пластин в связи с ростом их размера. Поэтому резко возрастают требования к качеству изделия из-за роста стоимости пластин

• Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2004.
• Известия высших учебных заведений, Электроника [Текст] : научно-технический журнал. — М., 2004. — 2.

• УДК // Виробництво лічильників. Витратоміри. Лічильники рідин і газів
• УДК // Витратоміри. Промислові лічильники. Лічильники рідин і газів та інші лічильники
• УДК // Електроніка. Мікроелектроніка