Киреев, В. Ю.     Влияние аспектного отношения и площади вскрытия на параметры реактивного ионно-плазменного травления структур в монокремнии [Текст] / В.Ю. Киреев, В.Ю. Пашков, Р.Г. Хакимова // Известия высших учебных заведений, Электроника : научно-технический журнал. — М., 2004. — 3. — С.28-35.