дислокація (техн.), дислокация ; кремній, кремний ; монокристали, монокристаллы ; напівпровідникові матеріали та вироби, полупроводниковые материалы и изделия ; розплави металів, расплавы металлов ; структура, structure

Цель диссертационной работы - разработка научно-обоснованных экспрессных методов контроля деформаций, механических напряжений, структурного совершенства и создание на их основе измерительного, ростового оборудования и аппаратуры для контроля структурного совершенства полупроводниковых кристаллов как в процессе роста, так и на выходном контроле.

• УДК // Провідники з дуже великим опором. Напівпровідники