кисень, кислород ; кремній, кремний ; технології, технологии,technologies

Целью диссертационной работы является: научное обоснование методик, алгоритмов и аппаратурных решений для контроля технологических параметров выращивания слитков; комплексное экспериментальное исследование процессов внедрения и распределения кислорода в слитках; исследования влияния на этот процесс технологических параметров (скорость выращивания слитка, частота вращения тигля); научное определение оптимальных параметров технологических процессов выращивания слитков большого диаметра, содержащих заданную концентрацию кислорода, равномерно распределенного по длине.

• УДК // Провідники з дуже великим опором. Напівпровідники