Зведений каталог бібліотек Харкова

 

539.23
О-74Осипов, К. А.
    Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков [Текст] / К.А. Осипов, Г.Э. Фолманис. — М. : Наука, 1973. — 87 с.


- Ключові слова:

іонні пучки, ионные пучки, ion beams ; низькотемпературна плазма, низкотемпературная плазма ; плівкові покриття, пленочные покрытия ; тонкі плівки, тонкие пленки

- Теми документа

  • УДК // Одержання тонких плівок
  • УДК // Фізика плазми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 1 Перейти на сайт