|
-
Ключові слова:
діелектричні плівки, диэлектрические плёнки ; плазма, plasma ; резистори, резисторы, resistors ; технологія, технология
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
-
УДК // Реакції, що відбуваються в плазмі, включаючи внутрішньоатомні, швидкість реакцій
|
