інтегральні мікросхеми, ІМС, интегральные микросхемы, ИМС, integrierte Mikroschaltungen ; лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography ; мікросхеми, микросхемы, Mikroschaltungen ; мікрохвильові оптоелектронні прилади, микроволновые оптоэлектронные приборы, microwave optoelectronic devices ; оптоелектронні мікросхеми, оптоэлектронные микросхемы ; фотони, фотоны

• УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи