|
-
Ключові слова:
електричні властивості, электрические свойства ; метод магнетронного розпилення, метод магнетронного распыления ; окисні плівки, окисные плёнки ; оптичні властивості, оптические свойства ; структура, structure
-
Анотація:
Показано, що досягнення оптимальних оптоелектричних властивостей для плівок ZnO:In та ZnO:Al, отриманих реактивним магнетронним розпиленням на постійному струмі, відбувається завдяки різним фізичним механізмам, що пов"язано з різними атомарними радіусами алюмінію та індію. Встановлено, що при високочастотному нереактивному магнетранному розпиленні при збільшенні робомого тиску спостерігається нетрадиційна зміна фізичних закономірностей впливу товщини плівок ZnO:Al на значення концентрації основних носіїв заряду. Уточнені та обгрунтовані фізичні механізми впливу на оптоелектричні властивості плівок ZnO:Al концентрації легуючої фази у складі мішені при нереактивному магнетронному розпиленні і потужності магнетрона при високочастотному розпиленні.
-
Теми документа
-
УДК // Одержання, розподіл та накопичення статичної електрики
-
УДК // Трібоелектрика (електризація тертям). Джерела статичної електрики
-
УДК // Фотоелектричні лампи та елементи
|
