|
-
Ключові слова:
лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography ; нанолітографія, нанолитография ; напівпровідникові прилади НВЧ, полупроводниковые приборы СВЧ ; напівпровідникові прилади, полупроводниковые приборы, semiconductor devices ; силові напівпровідникові прилади, СНВ, силовые полупроводниковые приборы, СПП
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
|
