Зведений каталог бібліотек Харкова

 

621.382.8
Г55Глудкин, О. П.
    Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС [Текст] / О.П. Глудкин, А.Е. Густов. — Москва : Радио и связь, 1981. — 112 с.


- Ключові слова:

інтегральні схеми, ІС, интегральные схемы, ИС, integrated circuits ; контроль, control ; технологія, технология ; фотометрія, фотометрия, Photometrie, photometry ; фотометричні дослідження, фотометрические исследования

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
  • УДК // Ніздрювата структура. Плівки, Тонкі плівки. Променеві структури



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 23 Перейти на сайт
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського 1 Перейти на сайт