Зведений каталог бібліотек Харкова
539.2И75 Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы [Текст] : сб. ст. : пер. с англ. / под ред. В. С. Вавилова. — Москва : Мир, 1980. — 330 с.
- Ключові слова:
- Теми документа