Зведений каталог бібліотек Харкова

 

539.2
И75    Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы [Текст] : сб. ст. : пер. с англ. / под ред. В. С. Вавилова. — Москва : Мир, 1980. — 330 с.


- Ключові слова:

імплантація, имплантация ; іони, ионы, Ionen ; збірники, сборники ; матеріали, материалы, materials ; напівпровідники, полупроводники, semiconductors, Halbleiter

- Теми документа

  • УДК // Властивості та структура молекулярних систем



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 5 Перейти на сайт