Зведений каталог бібліотек Харкова
Невлюдов, И. Ш. Нанолитография - наноимпринтинг [Текст] / И.Ш. Невлюдов, В.А. Палагин, Е.А. Фризюк, О.Г. Шинкаренко // Радиотехника : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. / МО Украины, Харьк. техн. ун-т радиоэлектроники; редкол. : М. Ф. Бондаренко (отв.ред.) и др. — Харьков : ХТУРЭ, 1996. — С. 151-158.
- Ключові слова:
- Анотація:
Методы наноимпринтиговой литографии пригодны для массового производства и позволяют изготавливать элементы с разрешающей способностью менее 10 нм на подложке 10х10 см и более. Рассмотрены разновидности НИЛ: горячее прессование, УФ-стимулирование, обратный наноимпринтинг, наноконтактная печать, микроконтактная печать, нанопечать переносом
- Є складовою частиною документа:
Радиотехника [Текст] : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. / МО Украины, Харьк. техн. ун-т радиоэлектроники; редкол. : М. Ф. Бондаренко (отв.ред.) и др. — Харьков : ХТУРЭ, 1996. — 287 с.
- Теми документа