Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Невлюдов, И. Ш.
    Нанолитография - наноимпринтинг [Текст] / И.Ш. Невлюдов, В.А. Палагин, Е.А. Фризюк, О.Г. Шинкаренко // Радиотехника : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. / МО Украины, Харьк. техн. ун-т радиоэлектроники; редкол. : М. Ф. Бондаренко (отв.ред.) и др. — Харьков : ХТУРЭ, 1996. — С. 151-158.


- Ключові слова:

ХНУРЕ- праці науковців, ХНУРЭ - труды научных сотрудников ; друк, печать ; нанолітографія, нанолитография ; нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology

- Анотація:

Методы наноимпринтиговой литографии пригодны для массового производства и позволяют изготавливать элементы с разрешающей способностью менее 10 нм на подложке 10х10 см и более. Рассмотрены разновидности НИЛ: горячее прессование, УФ-стимулирование, обратный наноимпринтинг, наноконтактная печать, микроконтактная печать, нанопечать переносом

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Властивості та структура молекулярних систем
  • УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
  • Праці співробітників ХНУРЕ // Невлюдов Ігор Шакирович, Невлюдов Игорь Шакирович, Nevliudov Igor Shakirovych
  • Праці співробітників ХНУРЕ // Палагін Віктор Андрійович, Палагин Виктор Андреевич, Palagun Victor Andriyovych
  • Праці співробітників ХНУРЕ // Разумов-Фризюк Євгеній Анатолійович, Разумов-Фризюк Евгений Анатольевич, Razumov-Fryzyuk Evgueniy Anatoliyovych



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки   Перейти на сайт