Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

621.318
Д 18Данилин, Б. С.
    Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б.С. Данилин. — М. : Энергоатомиздат, 1989. — 326 с.
ISBN 5-283-03939-0

- Ключові слова:

низькотемпературна плазма, низкотемпературная плазма ; тонкі плівки, тонкие пленки

- Теми документа

  • УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми
  • УДК // Одержання тонких плівок
  • УДК // Технічне застосування магнетизму. Магнітні матеріали, прилади. Котушки. Реле
  • УДК // Фізика плазми



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 1 Перейти на сайт
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського 1 Перейти на сайт