Зведений каталог бібліотек Харкова

 

539.23
П 53    Полупроводниковые пленки для микроэлектроники [Текст] / АН СССР ; Сиб. отд-ние ; Ин-т физики полупроводников ; отв. ред. Александров Л.Н., Петросян В.И. — Новосибирск : Наука, 1977. — 248 с.


- Ключові слова:

мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; плівки, пленки

- Теми документа

  • УДК // Одержання тонких плівок



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 6 Перейти на сайт