Зведений каталог бібліотек Харкова

 

621.382
Э45Брюэр, Дж. Р.
    Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] : пер. с англ. / под ред. Брюэра Дж. Р. — М. : Радио и связь, 1984. — 336 с.


Автор: Брюэр Дж.Р., Гринич Д.С., Херриот Д.Р., Хендерсон Р.К., Балантайн Дж.П.

- Ключові слова:

біполярні транзистори, БПТ, биполярные транзисторы, bipolar transistors ; кремнієві планарні транзистори, кремниевые планарные транзисторы ; лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography ; нанолітографія, нанолитография

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 3 Перейти на сайт