мікроелектроніка НВЧ, микроэлектроника СВЧ ; мікроелектроніка вакуумна, микроэлектроника вакуумная ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; мікроелектронні структури, микроэлектронные структуры ; напівпровідникова мікроелектроніка, полупроводниковая микроэлектроника ; структури, структуры, structures

• УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи