Зведений каталог бібліотек Харкова

 

621.382
Ч-68Хаякава, И.
    Чистые помещения [Текст] : пер. с япон. / под ред. И. Хаякавы. — М. : Мир, 1990. — 456 с.
ISBN 5-03-000363-0


- Ключові слова:

вібрація, вибрация ; виробничі стандарти, производственные стандарты ; гази, газы, gases ; матричні НВІС, матричные СБИС ; надвеликі інтегральні схеми, НВІС, сверхбольшие интегральные схемы, СБИС ; реальні гази, реальные газы ; стандарти ергономічні, стандарты эргономические, ergonomic standards ; стандарти, стандарты, standards

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 2 Перейти на сайт