|
Автор: Могэб К., Фрейзер Д., Фичтнер У., Парильо Л., Маркус Р.
-
Ключові слова:
інтеграція, интеграция, integration ; лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography ; матричні НВІС, матричные СБИС ; надвеликі інтегральні схеми, НВІС, сверхбольшие интегральные схемы, СБИС ; нанолітографія, нанолитография ; технологія, технология
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
|
