|
Автор: Пирс К., Адамс А., Кац Л., Цай Дж., Сейдел Т.
-
Ключові слова:
імплантація, имплантация ; інтеграція, интеграция, integration ; багатошарові циліндричні плівки, многослойные цилиндрические пленки ; дифузія, диффузия ; електронні прилади, электронные приборы, electronic devices ; лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography ; матричні НВІС, матричные СБИС ; надвеликі інтегральні схеми, НВІС, сверхбольшие интегральные схемы, СБИС ; нанолітографія, нанолитография ; технологія, технология
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
|
