інтегральні схеми НВЧ, интегральные схемы СВЧ ; інтегральні схеми, интегральные схемы ; кристали, кристаллы, Krisrtalle, crystals ; лазерні кристали, лазерные кристаллы ; лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography ; монокристали, монокристаллы ; надвеликі інтегральні схеми, НВІС, сверхбольшие интегральные схемы, СБИС ; нанолітографія, нанолитография ; напівпровідникові кристали, полупроводниковые кристаллы

• УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи