Зведений каталог бібліотек Харкова
621.382К66Корбань, В. И. Обработка монокристаллов в микроэлектронике [Текст] / В.И. Корбань, Ю.И. Борзаков. — М. : Радио и связь, 1988. — 103 с. ISBN 5-256-00139-6
- Ключові слова:
- Теми документа