|
-
Ключові слова:
лазерна літографія, лазерная литография, laser scribing lithography ; лазерна плазма, лазерная плазма ; металічна плазма, металлическая плазма ; нанолітографія, нанолитография ; напівпровідникові нелінійні резистори, полупроводниковые нелинейные резисторы ; напівпровідникові резистори, полупроводниковые резисторы ; напівпровідникова плазма, полупроводниковая плазма ; плазма, plasma ; радіація, радиация ; резистори, резисторы, resistors
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
-
УДК // Практичний аспект, реалізація, виконання, виробництво в техніці/Практический аспект, реализация, исполнение, производство в технике/Practical aspect, realization, execution, production in equipment
-
УДК // Фотолітографія. Фотографічні процеси виготовлення друкарських форм для плоского друку
|
