інтегральні мікросхеми, ІМС, интегральные микросхемы, ИМС, integrierte Mikroschaltungen ; комплементарна логіка на транзисторах метал-окид-напівпровідник, КМОН, комплементарная логика на транзисторах металл-оксид-полупроводник,КМОП, CMOS-technology ; мікроакустоелектромеханічні системи, МАЕМС, микроакустоэлектромеханические системы, МАЭМС ; мікроелектромеханічні системи, МЕМС, микроэлектромеханические системы, МЭМС ; мікрооптоелектромеханічні системи, МОЕМС, микрооптоэлектромеханические системы, МОЭМС ; мікросистемотехніка, МСТ, микросистемотехника ; нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology ; Lithographic, galvanoformung, abformung, LIGA

• Праці співробітників ХНУРЕ // Андрусевич Анатолій Олександрович, Андрусевич Анатолий Александрович, Andrusevych Anatoliy Olexandrovych
• УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми
• Праці співробітників ХНУРЕ // Невлюдов Ігор Шакирович, Невлюдов Игорь Шакирович, Nevliudov Igor Shakirovych
• Праці співробітників ХНУРЕ // Палагін Віктор Андрійович, Палагин Виктор Андреевич, Palagun Victor Andriyovych