вакуум, вакуум ; вакуумні системи, вакуумные системы ; вакуумна НВЧ-електроніка, вакуумная СВЧ-электроника ; вакуумна електроніка, вакуумная электроника ; вакуумметри, вакуумметры ; конструкційні матеріали, конструкционные материалы ; насоси, насосы ; тонкі плівки, тонкие пленки

• УДК // Пневмоенергетика, машини та інструменти. Холодильна техніка