Одержання тонких плівок
Підтеми:
Документи:
- Влияние параметров осаждения на структуру и свойства алмазоподобных пленок углерода [Текст] / Т.В. Лоза // Вопросы проектирования и производства конструкций летательных аппаратов : сб. науч. трудов. — Х. : Нац. аэрокосмический ун-т "ХАИ", 2006. — С. 187-190.
- Газовый сенсор из графитовой бумаги с пленкой с нанотрубками [Текст] / С.В. Антоненко // Приборы и техника эксперимента : научный журнал / РАН. — С. 117-120.
- Датчик линейных перемещений на связанных спиралях [Текст] / Ю.Н. Пчельников // Измерительная техника : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 46-50.
- Экспериментальное исследование кинетических и детектирующих свойств структур на основе дисперсных конденсатов металлов [Текст] : отчет о НИР (заключ.) : СВ501-23/86 / ХАИ ; рук. Удовенко А.А. ; исполн.: Удовенко А.А., Косец М.М. — Х., 1987. — 63 с.
- Электрические явления в тонких плёнках [Текст] : пер. с англ. / под ред. Шермегора Т.Д. — М. : Мир, 1972. — 435 с.
- Изменение процесса структурообразования, фазового состава и механических свойств ионно-плазменных пленок tin под влиянием тока дуги [Текст] / А.Л. Каменева // Конструкции из композиционных материалов. — 2011. — С. 60-70.
- Исследование возможностей изготовления чувствительной части приемников ИК-излучения на полиимидной подложке [Текст] : отчет о НИР (промежуточ.) : 502-/82 / ХАИ ; рук. Маликов В.Н. ; исполн.: Федоренко В.И., Лапин Н.А., Лещенко Н.Е., Акулов В.Д., Кучмий И.А. — Х., 1982. — 87 с.
- Исследование закономерностей формирования и электрофизических свойств пленок силицидов тугоплавких металлов, контактных структур на их основе для кремниевых схем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 "Твердотельная электроника и микроэлектроника" / И.В. Белоусов. — Киев, 1988. — 16 с.
- Исследование потоков газов, активированных в электронно-пучковой плазме [Текст] / Институт теплофизики им. С.С.Кутателадзе СО РАН // Прикладная механика и техническая физика. — Новосибирск : РАН, 2007. — С. 3-10.
- Исследование технической возможности и экономической целесообразности изготовления контактных магнитных дисков для запоминающих устройств методом напыления рабочего и защитного слоя [Текст] : отчет о НИР : 505-51/70 / ХАИ ; рук. Зенин Б.М. ; исполн.: Кулик Ю.П. — Х., 1970. — 47 с.
- Катодное распыление [Текст] / Н.В. Плешивцев. — М. : Атомиздат, 1968. — 347 с.
- Квазибезотражательные потенциалы в полупроводниковых наногетероструктурах [Текст] / Московский государственный институ электронной техники (технический университе) // Известия вузов. Электроника. — 2008. — С. 3-13.
- Лабораторная установка для получения пленок карбида кремния методом прямого ионного осаждения [Текст] / О.Л. Резинкин, A.K. Axelsson, В.В. Вытришко // Приборы и техника эксперимента : научный журнал / РАН. — С. 149-153.
- Магнитооптические свойства сверхтонких пленок висмутсодержащих феррит-гранатов, полученных методом магнетронного радиочастотного распыления [Текст] / В.А. Котов, В.Г. Шавров, M. Васильев та ін. // Радиотехника и электроника. — 2014. — С. 1242-1245.
- Массоперенос в тонких пленках [Текст] / АН БССР ; Ин-т электроники АН БССР. — Минск : Наука и техника, 1980. — 296 с.
- Молекулярно-лучевое осаждение сверхтонких слоев кремния на сапфире [Текст] / Нижегородский государственный университет им.Н.И.Лобачевского // . — С. 61-65.
- Морфология и структура углеродных нанотрубок, синтезированных на железном катализаторе в присутствии монооксида углерода [Текст] / Хельсинский технологический университет. // Российские нанотехнологии. — М., 2010. — С. 29-35.
- Нанесение тонких пленок силицидов металлов методами PLD и LIFT [Текст] / С.А. Муленко, Ю.В. Кудрявцев, Н.Т. Горбачук та ін. // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. / МО РФ, СПб ГУИТМО. — С. 37-42.
- Нанопленки металлов в процессах соединения (пайки) керамических материалов [Текст] / Институт проблем материаловедения им.И.Н.Францевича НАН Украины, Киев // Доповіді Національної Академії наук України : науково-теоретичний журнал / Президія НАН України. — С. 97-104.
- Наноструктурный механизм образования оксидной пленки в жаростойких сплавах на основе Fe - 25Cr - 35Ni [Текст] / С.Ю. Кондратьев, Г.П. Анастасиади, А.И. Рудской // Кузнечно-штамповочное производство. Обработка материалов давлением : включен в "Перечень научных журналов". — С. 15-20.
- О контроле структуры и морфологии слоев на основе углерода при росте из газовой фазы Ar(N2)/CH3OH(C2H5OH), активируемой тлеющим разрядом [Текст] / Институт неорганической химии СО РАН // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2007. — С. 72-75.
- Оперативный и неразрушающий контроль качества эпитаксиальных пленок феррогранатов [Текст] / С.И. Ющук, С.А. Юрьев, П.С. Костюк, В.И. Николайчук // Приборы и техника эксперимента : научный журнал / РАН. — С. 118-121.
- Осаждение гетероэпитаксиальных слоев топологического диэлектрика Bi2Se3 в системе триметилвисмут-изопропилселенид-водород на подложках (0001) Al2O3 и (100) GaAs [Текст] / П.И. Кузнецов, В.А. Лузанов, Г.Г. Якущева та ін. // . — C. 170-176.
- Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков [Текст] / К.А. Осипов, Г.Э. Фолманис. — М. : Наука, 1973. — 87 с.
- Особенности электрофизических свойств тонких пленок NaBiTe2 [Текст] / С.С.Белозерцева Авотин, Н.Л. Дьяконенко, А.А. Мамалуй // Вопросы атомной науки и техники / НАНУ; Нац. научный центр "ХФТИ". — Х., 2007. — С. 94-98.
- Переходные области эпитаксиальных полупроводниковых пленок [Текст] / под ред. А.Ф. Кравченко. — Новосибирск : Наука, 1978. — 270 с.
- Пленки магнетита на поверхности сапфира, полученные методом диодного высокочастотного реактивного распыления [Текст] / В.А. Лузанов, А.С. Веденеев, А.М. Козлов та ін. // . — С. 944-946.
- Повышение равномерности нанесения тонких пленок в вакууме [Текст] / В.А. Васин, Е.Н. Ивашов, С.В. Степанчиков // Технология машиностроения : Обзорно-аналитический, научно-технический и производственный журнал. — М. : Технология машиностроения, 2011. — С. 27-30.
- Полупроводниковые пленки для микроэлектроники [Текст] / АН СССР ; Сиб. отд-ние ; Ин-т физики полупроводников ; отв. ред. Александров Л.Н., Петросян В.И. — Новосибирск : Наука, 1977. — 248 с.
- Получение зондов с углеродными нанотрубками [Текст] / С.В. Антоненко, О.С. Малиновская // Приборы и техника эксперимента : научный журнал / РАН. — С. 139-14.
- Получение пленок силицидов титана и молибдена вакуумным и методами для интегральных схем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 "Твердотельная электроника и микроэлектроника" / Киев. политехн. ин-т. — Киев, 1988. — 17 с.
- Получение тонких пленок тантала с использованием метода магнетронного распыления [Текст] / В.А. Лузанов, А.С. Веденеев, В.В. Рыльков та ін. // Радиотехника и электроника. — 2015. — С. 1251-1253.
- Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок [Текст] / Б.С. Данилин. — М. : Энергоатомиздат, 1989. — 326 с.
- Профіль концентрації точкових дефектів в тонких плівках Pbs при ізотермічному відпалі [Текст] / Я.П. Салій // Український фізичний журнал. — 2007. — С. 861-863.
- Разработка методов стабилизации и автоматизация технологических процессов изготовления пленочных микросхем [Текст] : отчет о НИР ( заключит.) / МОН України, ХИРЭ ; науч. рук. А.Н. Иванов ; исполн. : А.Ф. Горбатюк и др. — Харьков, 1990. — 40 с.
- Разработка системы технических решений по обеспечению ресурса и надежности узлов трения ГТД [Текст] / Самарский государственный аэрокосмический университет. // Вестник государственного аэрокосмического университета имени академика С.П. Королева. — Самара, 2009. — С. 305-312.
- Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок [Текст] / Харьковский национальный университет им.В.Н.Каразина, г.Харьков // Радиофизика и электроника : сб. науч. тр. / НАН Украины, Ин-т радиофизики и электроники им. А. Я. Усикова ; редкол. : Яковенко В. М. (гл. ред.) и др. — Харьков : ИРЭ НАН Украины, 2005. — С. 214-217.
- Структура, механические свойства ионно-плазменных покрытий из карбида ниобия и меди, осажденных на твердосплавные фрезерные ножи [Текст] / А Кулешов, В.В. Углов, В.М. Анищик, Д.П. Русальский // . — С. 53-55.
- Структурные и фазовые превращения в пленках в зависимости от положения подложки в потоке плазмообразующих частиц [Текст] / А.Л. Каменева // Конструкции из композиционных материалов. — 2011. — С. 51-62.
- Технологические методы управления структурой эпитаксиальных слоев и монокристаллов GAAS [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 "Технология, оборудование и производство электронной техники" / МОНМС Украины, Херсон. гос. морской ин-т, НАН Украины, Ин-т физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева. — Херсон-К., 2011. — 154 с.
- Технологические основы гибридных интегральных схем [Текст] / под ред. З. Ю. Готры. — Львов : Вища школа, 1977. — 167 с.
- Технология эпитаксильных слоев арсенида галлия и приборы на их основе [Текст] / В.Н. Черняев, Л.В. Кожитов. — М. : Энергия, 1974. — 231 с.
- Технология тонких пленок [Текст] : справочник: в 2 т. / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. — М. : Советское радио, 1977. — 664 с.
- Технологічні методи керування структурою епітаксійних шарів і монокристалів GAAS [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 "Технологія, обладнання і виробництво електронної техніки" / Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. — Харків, 2011. — 20 с.
- Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции [Текст] / под ред. Поута Д., Мейера Д., Ту К., Киселева В.Ф. — М. : Мир, 1982. — 576 с.
- Тонкі плівки органічних напівпровідників для твердотільних сенсорів токсичних газів [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 "Фізика твердого тіла" / НАН України, Наук.- техн. центр електрофізичної обробки. — Харків, 2005. — 19 с.
- Трибологические, физико-механические и коррозионные свойства пленок на основе ZrN в зависимости от технологических и температурных параметров процесса их формирования магнетронным распылением [Текст] / А.Л. Каменева // Конструкции из композиционных материалов. — 2012. — С. 51-56.
- Улучшение износостойких и антифрикционных свойств пленок на основе TiN путем оптимизации технологии их формирования методом магнетронного распыления [Текст] / А.Л. Каменева, Д.М. Караваев, Т.О. Сошина // Упрочняющие технологии и покрытия : научно-технический и производственный журнал. — М. : Машиностроение, 2012. — С. 34-38.
- Физика металлических пленок : Размерные и структурные эффекты [Текст] / Ю.Ф. Комник. — М. : Атомиздат, 1979. — 363 с.
- Физика тонких пленок [Текст] : современное состояние исследований и технические применения / под общ. ред. Г. Хааса и Р.Э. Туна. — М. : Мир, 1970. — 440 с.
1
2
|
