А | 144204А | Вербицький, Володимир Фізико-технологічні основи електронно-йонних методів створення наноструктур функціональних елементів для НВІС [Текст] : Автореф. ... дис. доктора технічних наук: 05.27.01 / Вербицький В.Г.; Націон. технічний ун-тет України "КПІ". — Київ, 2003. — 34 с. |
| | |
|