621.3 Тихо Тихонов, Юрий     Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства [Текст] / Юрий Тихонов. — Москва : МИРЭА, 1977. — 116с.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова	2	Перейти на сайт