Зведений каталог бібліотек Києва
621.3БариБарил, М. А. Газовые системы оборудования производства полупроводниковых приборов и интегральных схем [Текст] / М.А. Барил, В.К. Самойликов. — Москва, 1978. — 112 с.
- Теми документа