621.3 Полт Полтавцев, Ю. Г.     Технология обработки поверхностей в микроэлектронике [Текст] / Ю.Г. Полтавцев, А.С. Князев. — Киев : Техніка, 1990. — 206с. ISBN 5-335-00572-6

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка . н - наукова	1	Перейти на сайт
Науково-технічна бібліотека Національного авіаційного університету	3	Перейти на сайт