53 | Смор | Смородина, Т. А. Вхождение примесных центров в кристаллический слой полупроводника [Текст] : Процессы образования монокристаллических слоев для микроэлектроники / АН СССР, Физико-технич. ин-т, Ин-т кристаллографии; Отв. ред. И.А. Смирнов. — Ленинград : Наука, 1986. — 175с. |
| | |
|