На основі виміряних у широкому інтервалі кутів падіння [фі] = 40850 еліпсометричних параметрів (зсуву фаз [Дельта] та азимута відновленої поляризації [псі]) досліджено оптичні властивості мідних дзеркал алмазного мікроточіння, отриманих за різних умов методами вакуумного напилення або гальванічного осадження. Вивчено вплив окисного шару та шорсткості поверхні на еліпсометричні параметри [Дельта] і [псі] і отримані на їх основі оптичні характеристики: показники заломлення n і поглинання та коефіцієнт відбивання R. Досліджено вплив шорсткості та порушеного шару на оптичні властивості міді.
The optical properties of flawless bulk copper specimens have been examined basing on ellipsometry measurements of [Delta] (phase shift) and [psi] (azimuth of restored polarization) in wide range of angle of light incidence [fi] = 40850. Specimens were prepared by diamond microturning of copper substrate, vacuum sputtering and galvanic deposition. Influence of surface oxide layer and surface roughness on ellipsometry parameters [Delta], [psi] and calculated main optical parameters (refraction n, extinction and reflection R indexes) was determined. Influences of disrupted layer on optical properties of copper mirrors were analysed.
