-
Ключові слова:
мікроелектроніка, микроэлектроника, mikroelektronika ; напівпровідники, полупроводники ; тонкі плівки, тонкие пленки, thin films
-
Теми документа
-
ББК науковий // Загальна радіотехніка
-
ББК науковий // Мікроелектронна апаратура. Мікроелектроніка
-
ББК науковий // Тонкі шари напівпровідників
|