Киреев, В. Ю     Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы [Текст] : Учебные издания / В.Ю Киреев, А.А. Столяров. — Москва : Техносфера, Издательство, 2006. — 192. ISBN 5-94836-039-3

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Наукова бібліотека ім.М.Максимовича Київського національного університету імені Тараса Шевченка		Перейти на сайт