Теоретично досліджений вплив протягу приповерхневої області вакуум-тверде тіло на поверхневі функції відгуку металів та напівпровідників. Отримані аналітичні залежності для дійсної та уявної частин поверхневої функції відгуку при моделюванні діелектричної функції середовища з урахуванням ненульової товщини перехідного приповерхневого шару для матеріалів з параметрами Al, Ge, GaAs. Встановлено, що на форму отриманих поверхневих функцій відгуку суттєво впливає вибір параметру задачі - параметру затухання.
