В роботі запропонована модель для швидкості створення зміщень при каскадоутворюючому опроміненні. Через низку параметрів (час балістичного етапу еволюції каскаду, характерні розміри каскаду та час рекомбінації міжвузлів та вакансій всередині каскаду) отримані статистичні характеристики такої швидкості та дисперсія флуктуацій густини вакансій у випадку їх малої внутрікаскадної рекомбінації.