|
Автор: Макара В.А., Стебленко Л.П., Руденко О.В., Науменко С.М., Котікова Т.Д.
-
Ключові слова:
механічні властивості, механические свойства ; напівпровідники на основі кремнію, полупроводники на основе кремния ; фізика напівпровідників, физика полупроводников
-
Анотація:
Приведені результати дослідження електромеханічного ефекту (ЕМЕ) при різних температурах в монокристалах n- та p-Si.
Механічні властивості приповерхневих шарів кремнію досліджувались методом мікроіндентування. Виявлено, що електронне збудження кристалів Si приводить до зміни їх твердості і до появи електромеханічного ефекту (ЕМЕ). Показано, що ЕМЕ має приповерхневий характер, а величина ефекту залежить від температури випробувань. В роботі встановлений зв"язок між електромеханічним та електропластичним ефектами та аналізується природа цього зв"язку.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
| 