Зведений каталог бібліотек Києва
621.3БереБерезин, Г. Н. Оптические основы контактной фотолитографии [Текст] / Г.Н. Березин, А.В. Никитин, Р.А. Сурис. — Москва, 1982. — 103 с.
- Теми документа