Об'єктом дослідження є скляні пластинки із плівкою золота, що призначені для спостерігання поверхневого плазмонного резонансу в приладі Плазмон-4м. Зразки плівок золота різної товщини в межах від 45 нм до 70 нм виготовлено методом термічного розпилення у вакуумі. Контроль товщини золотої плівки здійснено вимірюванням та моделюванням еліпсометричних кутів […] і […] . За допомогою атомно-силової мікроскопії визначено параметри шорсткості поверхні.
The glass plates with gold film intended for monitoring of surface plasmon resonance were investigated. The samples with film thickness range from 45 to 70 nm were manufactured by thermal sputtering technique in vacuum. The thickness of gold films was controlled due to ellipsometric measurements with further fitting of experimental data. The reliefs of film surface were studied by atomic force microscopy.
