За допомогою комп"ютерного моделювання методом РІС/МСС досліджується вплив пилових частинок на просторові розподіли параметрів плазми в радіочастотному розряді. Результати моделювання показали, що при наявності великих пилових частинок в міжелектродномупроміжку збуджуються осциляції електронної та іонної концентрацій. Причиною їх утворення є велике електричне поле в об"ємі плазми, яке прискорює електрони. В результаті цього в деяких точках простору зростає швидкість іонізації і формуються просторово-періодичні структури. Це явище досліджувалось при різних тисках газу та відстанях між електродами.
Ключові слова: запорошена плазма, радіочастотний розряд, комп"ютерне моделювання.
The influence of dust particles on the spatial distributions of plasma parameters in radiofrequency discharge is investigated using PIC/MCC computer simulation method. The simulation results show that electron and ion density oscillations are excited in the presence of large particles in the interelectrode space. The cause of their appearance is the existence of large electric field in the plasma bulk which accelerates electrons. It results that the ionization rate is increased at some space locations and spatially periodic structures in plasma are formed. This effect is investigated at different gas pressure and interelectrode distances.
Key Words: dusty plasma, radiofrequency discharge, computer simulation.
