В даній роботі проведено дослідження взаємодії молекулярного кисню з поверхнею кремнію вкритою субмоношаровим покриттям Сr в діапазоні експозицій О2 від 1 до 10 3 літрів кубічних при кімнатній температурі за допомогою методів електронної оже-спектроскопіїта іонізаційної спектроскопії.
Ключові слова: кремній, хром, окислення.
The investigation of the molecular oxygen interaction with Si(001) surface with the preadsorbed submonolayer coverages of chromium at exposures from 1 to 10 3 L (Langmuir) at room temperature have been made by the methods of Auger Electron Spectroscopy and ionization Loss Spectroscopy.
Key words: silicon, chromium, oxidation.
