Виміряні кутові залежності оптичних характеристик полікремнієвих плівок з різним типом структури. Характер залежностей (коефіцієнта відбиття та елементів матриці Мюллера) істотно змінюється для кожного типу структури плівки. Проведено тестування оптичних вимірювань на суцільних матеріалах. Зроблено припущення, що наявність у залежностях додаткових екстремумів пов"язана з існуванням інтерферуючих хвиль, що відбиті від границь з різними показниками заломлення для системи повітря-плівка-окисел кремнію-підкладка.
Ключові слова: плівки полікремнію, структура, коефіцієнт відбиття, Мюллер-поляриметрія, лінійний дихроїзм.
Angle dependences of optical parameters have been measured for polysilicon films with different structure types. The character of such dependences (of the reflectance coefficient and of the matrix Muller elements) has been essentially changed for each of structure type. The optical measurements have been tested for known solid medium.
It has been supposed that existing of addition extremums in dependences connected with the presence of interfering waves which are reflected from boundary with different refractive indexes for system: air-polysilicon film-oxide silicon-substrate.
Key Words: polysilicon films, structure, reflectance coefficient, Muller-polarimetry, linear dichroism.
