|
Автор: Чутов Ю.І., Кравченко О.Ю., Лиситченко Т.Є., Левада Г.І., Романенко P.O., Юрчук М.М.
-
Ключові слова:
плазма, plasma ; радіочастоти, радиочастоты
-
Анотація:
В роботі представлена методика числового моделювання радіочастотних розрядів низького тиску ( р < 1 тор) в аргоновій плазмі з пиловими частинками. Приведений аналіз моделі задачі на основі експериментальних даних для перетинів основних елементарних процесів в аргоновій плазмі. Взаємодія електронів та іонів з пиловими частинками в рамках моделі зводиться до додаткових елементарних процесів - кулонівського розсіяння та осідання на пилинках. Крім того, заряд пилових частинок враховується в рівнянні Пуасона при визначенні самоузгодженого потенціалу електричного поля. Методика основана на методі "частинок в комірках" та методі Монте-Карло для моделювання елементарних процесів.
In this article has presented the numerical modeling method of the low pressure(p<1 mop) radio-frequency discharges in argon plasmas with dust particles. The analysis of the model made using experimental dates of cross-sections of main elementary processes in argon plasma with dust particles. The interaction of electrons and ions with dust particles reduced to additional elementary processes - a coulomb dispersion and a deposition on dust particles. Furthermore, the dust panicles charge takes into account in the Poisson equation at calculations of the self-consistent electric potential. The computational procedure involves the PIC - method merged with Monte-Carlo collision calculations.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
Окремі фонди та колекції КНУ // праці авторів КНУТШ, труды авторов КНУТШ, работы авторов КНУТШ
| 