В даній роботі проведено дослідження взаємодії молекулярного кисню з поверхнею кремнію вкритою субмоношаровим покриттям Сr в діапазоні експозицій О2 від 1 до 500Л при кімнатній температурі до та після відпалу при 450 градусів С. Отримано залежності коефіцієнта прилипання молекулярного кисню від експозиції для субмоношарового покриття на кремнії та системи Cr/Si(001) відпаленої при 450 градусів С.
Ключові слова: кремній, хром, окислення.
In this article the investigation of the molecular oxygen interaction with Si(001) surface covered by the pre-adsorbed submonolayer of chromium at exposures from 1 to 500L (Langmuir) at room temperature before and after annealing at 450 С was studied. The dependence of sticking coefficient for the molecular oxygen versus exposition for submonolayer coverage chromium on the Si(001) surface and system Cr/Si(001)+450C+O2 was obtained.
Key words: silicon, chromium, oxidation.
