У даній роботі розглядається двоканальний сканер хвильового фронту, який аналізує відбиту від тестового зразка хвилю в двох ортогональних лінійних поляризаціях, з метою розділення фазових зсувів, пов'язаних з неоднорідностями рельєфу та локальними змінами показника заломлення.
Ключові слова: сканер хвильового фронту, дефекти поверхні.
The current paper considered the two-channeled wavefront scanner that analyze the wavefront, reflected from the tested sample, in two orthogonal linear polarizations for the purpose of separating the phase shifts concerned with the relief inhomogeneities and local changes of the surface refractive index.
Key Words: wavefront scanner, surface defects.
