Методом реактивного магнетронного розпилення виготовлено прозорі плівки ZnO при різному початковому рівні вакууму. Властивості плівки досліджувалися за допомогою методів атомно-силової мікроскопії та еліпсометрії. З'ясовано, що залишкові гази впливають в основному на процес формування плівки, що проявляється у зменшенні рухливості плівкоутворювальних частинок і на виникнення пустот в плівці.
Ключові слова: магнетронне розпилення, залишкові гази, плівки ZnO, спектральна епіпсометрія, АСМ.
The investigation of zinc oxide caused by great potential of its applications in many industry directions. ZnO films are manufactured by reactive magnetron sputtering method with different initial base pressure. The surface and optical properties performed due to ATM and ellisometry. It is ascertain, that presence of residual gases leads to a decrease of the mobility of the formed particles and rise of internal avoids.
Key words: magnetron sputtering, residual gases, ZnO spectrellipsometry, AFM.
