Методом просвічуючої електронної мікроскопії досліджено фасетування границь зерен у полікремнієвих плівках, що отримані методом хімічного осадження з газової фази в реакторі зниженого тиску. Показано, що зернограничні фасетки паралельні щільнопакованим площинам ґратки вузлів, що збігаються (ГЗВ). Характеристики фасеток (орієнтація, довжина) визначаються типом структури плівок (волокниста, рівноосьова, дендритна).
Transmission electron microscopy was used for investigation of grain boundary faceting inpolysilicon films obtained by low pressure chemical wapour deposition. It was shown that facets are parallel to closely packed planes of coincidence site lattice (CSL). Facet characteristics (orientation, length) are caused by the types of films structure (fibrous, equiaxed, dendritic).
