Розглянуто полікремнієві плівки з різним типом структури: рівноосьова, дендритна та волокниста. Встановлено, що для довжини хвилі 0,63 мкм та кута падіння 20° коефіцієнт відбиття та величина ефективного лінійного дихроїзму не залежать від величин поверхневих нанорозмірних неоднорідностей плівок і визначаються типом структури плівок. Зроблено припущення, що на оптичні характеристики плівок впливає різний характер структури границь зерен та стиків границь зерен (спеціальні чи загального типу).
Ключові слова: плівки полі кремнію, структура, границі зерен, стики границь зерен, коефіцієнт відбиття, Мюллер-поляриметрія, лінійний дихроїзм.
It has been considered polysilicon films with different structure type: equiaxed, dendritic and fibrous. The reflectance coefficient and value of an effective linear dichroism were independent of surface roughness (for order of the nanometers) and determined by the structure type for wave-length equal 0,63м and light initial angle equal 20°. It has been supposed that such dependence connected with the presence of grain boundaries and joints of grain boundaries (of the general type or of spatial type).
Key words: polysilicon films, structure, grain boundaries, joints of grain boundaries, reflectance coefficient, Muller-polarimetry, linear dichroism.
