У роботі показана можливість визначення дефектів відбиваючої світло поверхні за допомогою сенсора хвильового фронту Шека-Хартманна. Для досягнення субмікронної просторової роздільної здатності сенсора пропонується класифікація мікро-областей поверхні методами багатовимірного статистичного аналізу.
Ключові слова: сенсор Шека-Хартмана, багатовимірний статистичний аналіз, дефекти поверхні.
Possibility of surface defective structure detection with Shack-Hartmann wavefront sensor is demonstrated. Surface micro-area classification by the multivariate statistical analysing method is proposed to achieve the submicron resolution of the sensor.
Key word: Shack-Hartmann sensor, multivariate statistical analysis, surface defects.
