Вперше методом рентгенівської дифрактометрії було виявлено зміну параметру гратки монокристалічного кремнію n-типу провідності. (КЕФ-4.5. вирощеного за Чохральским) під впливом короткодіючого НВЧ електромагнітного опромінення. Ефект має релаксаційний характер і зникає через деякий час. На основі одержаних експериментальних результатів висловлені гіпотетичні фізичні механізми, які лежать в основі виявлених ефектів. Суть цих механізмів полягає у врахуванні суттєвої ролі кисню та кисневмісних дефектів у зміні структурних характеристик кристалу під дією НВЧ опромінення.
Ключові слова: кремній, параметр гратки , кластер, НВЧ поле.
Using the method of tri-crystal X-ray defraclometry the change of lattice parameter under the influence of microwave irradiation was discovered. The effect is of a relaxational nature and disappears after some time. On the basis of the experimental findings the hypothetical physical mechanisms which underlie the effects discovered are formulated.
The essence of the mechanismsconsists in taking into account the principal role of oxygen and oxygen clusters in the change of structural characteristics of a crystal under the influence of microwave irradiation.
Key Words: silicon, lattice parameter, cluster, microwave radiation.
