Розглянуто можливість надрозрізнення енергетичного розподілу електронів за сигналом електронного спектрометра з обмеженою роздільною здатністю. Запропоновано метод відновлення спектру з використанням діагонального представлення апаратної функції спектрометра. За допомогою комп'ютерного моделювання показано можливість покращення розрізнення у 3 - 3.5 рази. При моделюванні апаратної функції спектрометра використано інтерполяцію експериментальних
спектрів пружно розсіяних електронів з первинною енергією 100, 200, .... 800 eV. Показано задовільну якість такої інтерполяції.
Ключові слова: електронна спектроскопія, надрозрізнення, оптимальна фільтрація.
Potential of superresolution of energy distribution of electrons from the sigпal of electron spectrometer with limited resolving ability is considered The method of spectrum restoration, which applies diagonal representation of spectrometer instrument function, is suggested. 3 -3.3 times resolution improvement is demonstrated by means of computer simulation. Experimental spectra of elastically scattered electrons with primary energies of 100, 200..... 800 eV were interpolated to simulate the instrument function of the spectrometer. The fine quality of such interpolation is demonstrated.
Key words: electron spectroscopy, superresolution, optimal filtering.
